ISO 14001
ISO 50001
ISO 9001
ISO 45001
삼염화규소는 순도가 99.99% 이상인 제품입니다. 초순수 형태의 삼염화규소는 폴리실리콘 생산뿐만 아니라 반도체 산업에서 실리콘 또는 탄화규소의 에피택시층 화학 기상 증착에 사용됩니다. 또는 전자 제품에서.
>6N 품질로 정제한 후 삼염화규소 는 광전지 어레이 또는 반도체 응용 분야용 폴리실리콘의 전구체 입니다. 삼염화규소는 실리콘 층 생산에서 우수한 기체 전구체입니다. 증착 동안 지배적인 경로는 (a) 실리콘 표면에 *SiCl2의 화학 흡착과 실리콘 표면에서 염화수소의 탈착: SiHCl3 → HCl + *SiCl2 및 (b) 수소에 의한 *SiCl2의 환원: *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. 초순수 삼염화규소는 탄화규소 에피택셜 층의 생산에도 사용됩니다.
제품 이점:
신청 :
시장 및 응용
원료 및 중간체
전력 산업 / 태양 광
전자 산업 / 반도체
