Tricloruro di silicio ultrapuro (triclorosilano ultrapuro)

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Produttore
PCC Rokita SA / Chlorine Business Unit
Nome chimico
CAS No.
Tricloruro di silicio ultrapuro (triclorosilano ultrapuro)
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Tricloruro di silicio ultrapuro (triclorosilano ultrapuro)
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Il tricloruro di silicio è un prodotto con una purezza superiore al 99,99%. Le maggiori quantità di tricloruro di silicio nella sua forma ultrapura sono utilizzate nella produzione di polisilicio, nonché per la deposizione chimica da vapore di strati epitassiali di silicio o carburo di silicio nell'industria dei semiconduttori o nell'elettronica.

Dopo la purificazione a una qualità >6N, il tricloruro di silicio è un precursore del polisilicio per array fotovoltaici o applicazioni di semiconduttori . Il tricloruro di silicio è un eccellente precursore gassoso nella produzione di strati di silicio. Il percorso dominante durante la deposizione è (a) il chemisorbimento di *SiCl2 sulla superficie del silicio e il desorbimento dell'acido cloridrico dalla superficie del silicio: SiHCl3 → HCl + *SiCl2 e (b) la riduzione di *SiCl2 da parte dell'idrogeno: *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. Il tricloruro di silicio ultrapuro viene utilizzato anche per la produzione di strati epitassiali di carburo di silicio.

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Proprietà e applicazioni

Vantaggi del prodotto:

  • un prodotto di altissima purezza per l'industria dei pannelli fotovoltaici e dei semiconduttori,
  • basso contenuto di cloro libero.

Applicazioni :

  • materie prime per la produzione di tricloruro di silicio ultra puro per la produzione di polisilicio,
  • precursore nell'epitassia di silicio, carburo di silicio, nitruro di silicio.
  • industria elettronica – semiconduttori,
  • industria energetica – fotovoltaico.
Categorie

Mercati e applicazioni
Industria elettronica / Semiconduttori
Industria energetica / Fotovoltaico
Materie prime e intermedi

Funzione
Precursore di silicio gassoso
Precursore nell'epitassia del silicio e dei composti di silicio

Composizione
Cloruri
Silicio

Segmento
Clorosilani, materie prime e intermedi
Prodotti speciali / Additivi speciali

Nomi alternativi
Triclorosilano, Triclorosilano, silicocloroformio, cloruro di silicio idruro (SiHCl3), CAS10025-78-2.

Produttore: PCC Rokita SA

PCC Rokita SA è una delle più grandi aziende chimiche in Polonia e nell'Europa centrale e orientale. La sua attività comprende la produzione di cloroalcali, polietere polioli, polialchilenglicoli e derivati del fosforo.

Gruppo PCC

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