ISO 14001
ISO 50001
ISO 9001
ISO 45001
ซิลิคอนไตรคลอไรด์ เป็นผลิตภัณฑ์ที่มีความบริสุทธิ์มากกว่า 99.99% ซิลิคอนไตรคลอไรด์ในรูปแบบบริสุทธิ์พิเศษในปริมาณที่มากที่สุดจะใช้ในการผลิตโพลีซิลิคอน เช่นเดียวกับการสะสมไอเคมีของชั้น epitaxial ของซิลิคอนหรือซิลิคอนคาร์ไบด์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ หรือในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
หลังจากการทำให้บริสุทธิ์ถึงคุณภาพ >6N ซิลิคอนไตรคลอไรด์ เป็น สารตั้งต้นของโพลีซิลิคอนสำหรับแผงเซลล์แสงอาทิตย์หรือการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ ซิลิคอนไตรคลอไรด์เป็นสารตั้งต้นที่เป็นก๊าซที่ดีเยี่ยมในการผลิตชั้นซิลิกอน เส้นทางที่โดดเด่นระหว่างการทับถมคือ (a) การดูดซับทางเคมีของ *SiCl2 บนพื้นผิวซิลิกอนและการดูดซับไฮโดรเจนคลอไรด์จากพื้นผิวซิลิกอน: SiHCl3 → HCl + *SiCl2 และ (b) การลดลงของ *SiCl2 โดยไฮโดรเจน: *SiCl2 + H2 → ศรี + 2HCl. ซิลิคอนไตรคลอไรด์บริสุทธิ์พิเศษยังใช้ในการผลิตชั้น epitaxial ของซิลิคอนคาร์ไบด์
ข้อดีของผลิตภัณฑ์:
การใช้งาน :
