Tricloruro de silicio ultrapuro (triclorosilano ultrapuro)

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Fabricante
PCC Rokita SA / Chlorine Business Unit
Nombre químico
No CAS.
Tricloruro de silicio ultrapuro (triclorosilano ultrapuro)
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Certificados
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Tricloruro de silicio ultrapuro (triclorosilano ultrapuro)
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El tricloruro de silicio es un producto con una pureza superior al 99,99 %. Las mayores cantidades de tricloruro de silicio en su forma ultrapura se utilizan en la producción de polisilicio, así como para la deposición química de vapor de capas epitaxiales de silicio o carburo de silicio en la industria de los semiconductores. o en electrónica.

Después de la purificación a una calidad >6N, el tricloruro de silicio es un precursor del polisilicio para matrices fotovoltaicas o aplicaciones de semiconductores . El tricloruro de silicio es un excelente precursor gaseoso en la producción de capas de silicio. El camino dominante durante la deposición es (a) la quimisorción de *SiCl2 en la superficie de silicio y la desorción de cloruro de hidrógeno de la superficie de silicio: SiHCl3 → HCl + *SiCl2 y (b) la reducción de *SiCl2 por hidrógeno: *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. El tricloruro de silicio ultrapuro también se utiliza en la producción de capas epitaxiales de carburo de silicio.

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Propiedades y aplicaciones.

Ventajas del producto:

  • un producto de muy alta pureza para la industria fotovoltaica y de semiconductores,
  • bajo contenido de cloro libre.

Aplicaciones :

  • materia prima para la producción de tricloruro de silicio ultra puro para la producción de polisilicio,
  • precursor en la epitaxia del silicio, carburo de silicio, nitruro de silicio.
  • industria electrónica – semiconductores,
  • industria energética – fotovoltaica.
Categorias

Mercados y aplicaciones
Industria de la energía / Fotovoltaica
Industria electrónica / Semiconductores
Materias primas e intermedios

Función
Precursor de silicio gaseoso
Precursor en la epitaxia de silicio y compuestos de silicio

Composición
Cloruros
Silicio

Segmento
Clorosilanos, materias primas e intermedios
Productos especializados / Aditivos especiales

Nombres alternativos
triclorosilano, Triclorosilano, Silicocloroformo, Hidruro de cloruro de silicio (SiHCl3), CAS10025-78-2.

Fabricante: PCC Rokita SA

PCC Rokita SA es una de las mayores empresas químicas de Polonia y de Europa Central y Oriental. Su actividad incluye la producción de cloroálcalis, poliéter polioles, polialquilenglicoles y derivados del fósforo.

Grupo PCC

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