Siliciumtrichloride is een product met een zuiverheid van meer dan 99,99%. De grootste hoeveelheden siliciumtrichloride in zijn ultrazuivere vorm worden gebruikt bij de productie van polysilicium, maar ook voor chemische dampafzetting van epitaxiale lagen silicium of siliciumcarbide in de halfgeleiderindustrie of in elektronica.
Na zuivering tot >6N-kwaliteit is siliciumtrichloride een voorloper van polysilicium voor fotovoltaïsche arrays of halfgeleidertoepassingen . Siliciumtrichloride is een uitstekende gasvormige voorloper bij de productie van siliciumlagen. Het dominante pad tijdens de depositie is (a) de chemisorptie van *SiCl2 op het siliciumoppervlak en desorptie van waterstofchloride van het siliciumoppervlak: SiHCl3 → HCl + *SiCl2 en (b) de reductie van *SiCl2 door waterstof: *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. Ultrazuiver siliciumtrichloride wordt ook gebruikt bij de productie van epitaxiale lagen van siliciumcarbide.
Productvoordelen:
toepassingen :
Markten en toepassingen
Elektronische industrie / Halfgeleiders
Energie industrie / Fotovoltaïek
Grondstoffen en tussenproducten
Functie
Gasvormige siliciumprecursor
Voorloper in de epitaxie van silicium en siliciumverbindingen
Samenstelling
Chloriden
Silicium
Segment
Chloorsilanen, grondstoffen en tussenproducten
Speciale producten / Speciale toevoegingen