PCC
РегистрацияВойти

газообразный прекурсор кремния

Газообразный прекурсор кремния представляет собой газообразное химическое соединение, содержащее атом Si.

Filtry
Функция
Строение
Сегмент
Производитель

Газообразный прекурсор кремния представляет собой газообразное химическое соединение, содержащее атом Si. Как следует из названия, вещество сопровождает первичную стадию реакции получения кремния. Одним из известных прекурсоров является трихлорид кремния — он участвует в образовании эпитаксиальных слоев из SiC.

Данный процесс заключается в нанесении слоев элемента на подложки, благодаря чему образуются тонкослойные структуры регулируемой чистоты и химического состава. Его применяют в производстве полупроводников, таких как кремниевые матрицы для интегральных схем, светодиодов или фотогальванических элементов.