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Gasförmiger Siliziumvorläufer

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Gasförmiger Präkursor von Silizium

Ein gasförmiger Präkursor von Silizium ist eine gasförmige chemische Verbindung, die ein Si-Atom enthält.  Wie der Name schon sagt, begleitet die Substanz die erste Reaktionsstufe zur Gewinnung von Silizium. Einer der bekannten Präkursoren ist Siliciumtrichlorid – es ist ein Bestandteil bei der Herstellung von epitaktischen Schichten aus SiC.