Plynný křemíkový prekurzor

Technický chlorid křemičitý (technický trichlorsilan) Technický chlorid křemičitý je produkt s čistotou nad 97%.Používá se jako surovina/meziprodukt při výrobě organofunkčních silanů a dalších látek na bázi křemíku.Organofunkční...

Ultračistý chlorid křemičitý (ultračistý trichlorsilan) Chlorid křemičitý je produkt s čistotou vyšší než 99,99 %. Největší množství chloridu křemičitého v ultračisté formě se používá při výrobě polysilikonu a také pro...

Složení

Křemík, Chloridy

Č. CAS

10025-78-2

1 – 2 z 2 produktů

Plynný prekurzor křemíku je chemická sloučenina existující v plynné formě, která obsahuje atom Si. Jak název napovídá, látka doprovází počáteční fázi reakce výroby křemíku. Jedním známým prekurzorem je chlorid křemičitý, složka při výrobě epitaxních vrstev z SiC. Tento proces zahrnuje nanášení vrstev prvku na substráty, což vede k vytvoření tenkovrstvých struktur s kontrolovanou čistotou a chemickým složením. Používá se ve výrobních procesech polovodičů, jako jsou křemíkové matrice pro integrované obvody, LED nebo fotovoltaické články.

Přečtěte si více