Попередник в епітаксії кремнію та кремнієвих сполук

Кремнію трихлорид технічний (трихлорсилан технічний) Технічний трихлорид кремнію є продуктом з чистотою понад 97%. Використовується як сировина / проміжний матеріал у виробництві органофункціональних силанів та інших...

Надчистий трихлорид кремнію (Ultrapure trichlorosilane) Трихлорид кремнію є продуктом з чистотою понад 99,99%. Найбільші кількості трихлориду кремнію в надчистому вигляді використовуються у виробництві полікремнію, а...

Композиція

Кремній, Хлориди

Номер CAS

10025-78-2

1 - 2 з 2 продуктів

Попередник в епітаксії кремнію та кремнієвих сполук

Попередник в епітаксії кремнію та кремнієвих сполук — це хімічна речовина, яка використовується в процесі, який називається епітаксія, для нанесення шарів кремнію на підкладки. Епітаксія — це техніка, яка передбачає нарощування тонких шарів кремнію на монокристалічній кремнієвій підкладці. Цей метод є невід’ємною частиною виробництва напівпровідників, зокрема в мікроелектронній промисловості, де вони необхідні для виробництва інтегральних схем. Найбільш поширеним методом епітаксії є хімічне осадження з газової фази з використанням металоорганічних сполук (MOCVD, MOVPE). Газоподібні компоненти вводяться в контрольовані умови реактора, викликаючи утворення бажаних шарів в результаті реакції. Прикладом прекурсора в цьому процесі є трихлорид кремнію.