Inventory status Загальні умови продажу

Сертифікати

ISO 14001

ISO 50001

ISO 9001

ISO 45001

PCC Group

Надчистий трихлорид кремнію (Ultrapure trichlorosilane)

Доступний за запитом

Трихлорид кремнію є продуктом з чистотою понад 99,99%. Найбільші кількості трихлориду кремнію в надчистому вигляді використовуються у виробництві полікремнію, а також для хімічного осадження з парової фази епітаксіальних шарів кремнію або карбіду кремнію в напівпровідниковій промисловості. або в електроніці.

Після очищення до якості >6N трихлорид кремнію є попередником полікремнію для фотоелектричних масивів або напівпровідників . Трихлорид кремнію є чудовим газоподібним попередником у виробництві шарів кремнію. Домінуючим шляхом під час осадження є (а) хемосорбція *SiCl2 на поверхні кремнію та десорбція хлористого водню з поверхні кремнію: SiHCl3 → HCl + *SiCl2 та (б) відновлення *SiCl2 воднем: *SiCl2 + H2 → Si + 2HCl. Надчистий трихлорид кремнію також використовується для виробництва епітаксіальних шарів карбіду кремнію.

При звичайній температурі і тиску трихлорид кремнію є рідиною з температурою плавлення -126,5 °C і температурою кипіння 31,5-33 °C. Його густина більша за густину води (1,33-1,35 г/см3) при 20 °C і має помірну (динамічну) в'язкість 0,33 мПа.с при 20 °C. Він дуже летючий з тиском пари 72 200 Па при 22,5°C. Речовина класифікується як надзвичайно легкозаймиста за температурою спалаху <-19,5°C і температурою кипіння 31,5-33°C. Він розкладається водою до соляної кислоти та водню. Ця реакція протікає дуже бурхливо . У вологих умовах продукт роз’їдає метали та тканини. Він змішується з бензолом, хлороформом, чотирихлористим вуглецем, ефіром і гептаном. При стандартній температурі і тиску він має вигляд прозорої рідини. ПАКУВАННЯ та ТРАНСПОРТ: ISO-Tank, залізничний транспорт.

Властивості та застосування

Переваги продукту:

продукт дуже високої чистоти для фотоелектричних масивів і напівпровідникової промисловості,
низький вміст вільного хлору.

Застосування :

вихідна сировина для виробництва ультрачистого трихлориду кремнію для виробництва полікремнію,
прекурсор в епітаксії кремнію, карбіду кремнію, нітриду кремнію.
електроніка - напівпровідники,
енергетика - фотовольтаїка.

Категорії

Ринки та програми
Хімічна сировина / Сировина та проміжні продукти, Хлорсилани
Електронна промисловість / Напівпровідники
Енергетика / Фотовольтаїка

функція
Попередник в епітаксії кремнію та кремнієвих сполук
Газоподібний прекурсор кремнію

Композиція
Кремній
Хлориди

Відрізок
Хлоросилани, сировина та проміжні продукти
Спеціальні продукти / Спеціальні добавки

Альтернативні назви

Трихлорсилан
Силікохлороформ
Гідрид хлориду кремнію (SiHCl3)
CAS10025-78-2

Виробник: PCC Rokita SA

PCC Rokita SA є однією з найбільших хімічних компаній у Польщі, а також у Центральній та Східній Європі. Його діяльність включає виробництво хлоролугів, поліефірних поліолів, поліалкіленгліколів і похідних фосфору.

Переглянути продукти

Подивіться інші варіації цього продукту