PCC
Kayıt olGiriş sayfası

Silikon ve silikon bileşiklerinin epitaksisinde öncü

Silikon ve silikon bileşiklerinin epitaksisindeki bir öncü, alt katmanlar üzerine silikon katmanlarını biriktirmek için epitaksi adı verilen bir işlemde kullanılan bir kimyasaldır.

Filtry
fonksiyon
Kompozisyon
bölüm
Üretici firma

Silikon ve silikon bileşiklerinin epitaksisindeki bir öncü, alt katmanlar üzerine silikon katmanlarını biriktirmek için epitaksi adı verilen bir işlemde kullanılan bir kimyasaldır.

Epitaksi, monokristalin bir silikon substrat üzerinde ince silikon katmanlarının büyümesini içeren bir tekniktir. Bu yöntem, özellikle entegre devrelerin üretimi için gerekli olan mikroelektronik endüstrisinde yarı iletkenlerin üretiminin ayrılmaz bir parçasıdır.

En yaygın kullanılan epitaksi yöntemi, metalorganik bileşikler (MOCVD, MOVPE) kullanılarak kimyasal buhar biriktirme yöntemidir. Gaz halindeki bileşenler kontrollü koşullar altında bir reaktöre dahil edilerek reaksiyon sonucunda istenilen katmanların oluşması sağlanır. Bu işlemdeki öncüllerin bir örneği silikon triklorürdür.