PCC
RegistrovaťPrihlasovacia stránka

Prekurzor v epitaxii kremíka a zlúčenín kremíka

Prekurzor v epitaxii kremíka a zlúčenín kremíka je chemikália používaná v procese nazývanom epitaxia na ukladanie vrstiev kremíka na substráty.

Filtry
Funkcia
Zloženie
Segment
Výrobca

Prekurzor v epitaxii kremíka a zlúčenín kremíka je chemikália používaná v procese nazývanom epitaxia na ukladanie vrstiev kremíka na substráty.

Epitaxia je technika zahŕňajúca rast tenkých vrstiev kremíka na substráte z monokryštalického kremíka. Táto metóda je neoddeliteľnou súčasťou výroby polovodičov, najmä v mikroelektronickom priemysle, kde sú nevyhnutné na výrobu integrovaných obvodov.

Najčastejšie používanou metódou epitaxie je chemická depozícia z plynnej fázy pomocou metalorganických zlúčenín (MOCVD, MOVPE). Plynné zložky sa zavádzajú za kontrolovaných podmienok reaktora, čo spôsobuje tvorbu požadovaných vrstiev ako výsledok reakcie. Príkladom prekurzora v tomto procese je chlorid kremičitý.