PCC
RegistreraLogin sida

Prekursor i epitaxi av kisel och kiselföreningar

En prekursor i epitaxi av kisel och kiselföreningar är en kemikalie som används i en process som kallas epitaxi för att avsätta lager av kisel på substrat.

Filtry
Fungera
Sammansättning
Segmentet
Tillverkare

En prekursor i epitaxi av kisel och kiselföreningar är en kemikalie som används i en process som kallas epitaxi för att avsätta lager av kisel på substrat.

Epitaxi är en teknik som involverar tillväxt av tunna lager av kisel på ett monokristallint kiselsubstrat. Denna metod är en integrerad del av produktionen av halvledare, i synnerhet inom mikroelektronikindustrin, där de är väsentliga för produktionen av integrerade kretsar.

Den vanligaste metoden för epitaxi är kemisk ångavsättning med hjälp av metallorganiska föreningar (MOCVD, MOVPE). Gasformiga komponenter införs under kontrollerade förhållanden i en reaktor, vilket orsakar bildandet av de önskade skikten som ett resultat av reaktionen. Ett exempel på en prekursor i denna process är kiseltriklorid.