PCC
RegistrovatPřihlašovací stránka

Plynný křemíkový prekurzor

Plynný prekurzor křemíku je chemická sloučenina existující v plynné formě, která obsahuje atom Si. Jak název napovídá, látka doprovází počáteční fázi reakce výroby křemíku.

Filtry
Funkce
Složení
Segment
Výrobce

Plynný prekurzor křemíku je chemická sloučenina existující v plynné formě, která obsahuje atom Si. Jak název napovídá, látka doprovází počáteční fázi reakce výroby křemíku. Jedním známým prekurzorem je chlorid křemičitý, složka při výrobě epitaxních vrstev z SiC.

Tento proces zahrnuje nanášení vrstev prvku na substráty, což vede k vytvoření tenkovrstvých struktur s kontrolovanou čistotou a chemickým složením. Používá se ve výrobních procesech polovodičů, jako jsou křemíkové matrice pro integrované obvody, LED nebo fotovoltaické články.