PCC
RejestracjaLogowanie

Gazowy prekursor krzemu

Gazowym prekursorem krzemu nazywamy występujący w formie gazowej związek chemiczny, który zawiera atom Si.

Filtry
Funkcja
Budowa
Segment
Producent

Gazowym prekursorem krzemu nazywamy występujący w formie gazowej związek chemiczny, który zawiera atom Si. Jak sama nazwa wskazuje – substancja towarzyszy pierwotnemu stadium reakcji otrzymywania krzemu. Jednym ze znanych prekursorów jest trichlorek krzemu – stanowi on składnik w wytwarzaniu warstw epitaksjalnych z SiC.

Proces ten polega na osadzaniu warstw pierwiastka na podłożach, dzięki czemu powstają cienkowarstwowe struktury o kontrolowanej czystości i składzie chemicznym. Wykorzystuje się go w procesach produkcji półprzewodników, takich jak krzemowe matryce do układów scalonych, diod LED czy ogniw fotowoltaicznych.