PCC

Prekursor w epitaksji krzemu i związków krzemu

Prekursor w epitaksji krzemu i związków krzemu to substancja chemiczna używana w procesie zwanym epitaksją w celu deponowania warstw krzemu na podłożach.

Filtry
Funkcja
Budowa
Segment
Producent

Prekursor w epitaksji krzemu i związków krzemu to substancja chemiczna używana w procesie zwanym epitaksją w celu deponowania warstw krzemu na podłożach.

Epitaksja jest techniką polegającą na wzroście cienkich warstw krzemu na monokrystalicznym podłożu krzemowym. Metoda ma integralne znaczenie w produkcji półprzewodników, w szczególności w przemyśle mikroelektronicznym, w którym są one niezbędne do produkcji układów scalonych.

Najczęściej stosowaną metodą epitaksji jest chemiczne osadzanie z fazy gazowej z użyciem związków metaloorganicznych (MOCVD, MOVPE). W kontrolowanych warunkach reaktora wprowadza się gazowe komponenty, które w wyniku reakcji powodują powstawanie pożądanych warstw. Przykładem prekursora w wymienionym procesie jest trichlorek krzemu.